校直各部门、各教学教辅单位：

我校分析测试中心采购的Nova Nano SEM 450热场发射扫描电子显微镜（生产厂商：美国FEI公司)通过验收正式向全校教师开放共享。

一、本仪器主要技术指标

1．分辨率

二次电子（SE）像

高真空模式　1.0 nm @ 15 kV; 1.4 nm @ 1kV

低真空模式　1.5 nm @ 10 kV; 1.8 nm @ 3kV

放大倍率：35～900 000倍，根据加速电压和工作距离的改变，放大倍数自动校准。

2．加速电压：0.2 – 30 kV  着陆电压：0.05-30 kV

3．样品室：样品室左右内径：大于379 mm，可安装EDS＋EBSD附件

4．样品台：五轴马达驱动样品台，最大移动范围指标：X=Y=110 mm，z=25 mm.

5．连续旋转：R=360°

6．倾斜角T范围：-15°~70°

7．探测器：

①．二次电子探头：E-T二次电子检测器，TLD-SE极靴内二次电子检测器，TLD-BSE极靴内背散射电子检测器，LVD低真空二次电子探测器；Helix 低真空超高分辨二次电子探测器

②．背散射电子探头：低电压取向背散射电子检测器（DBS）

③．样品室IR-CCD相机

二、本仪器功能及主要附件

主要用于观察、分析和记录材料的微观形貌，通过配备EDS、EBSD等进行材料组成与结构分析。

1．具有高真空和低真空(<200 Pa)两种模式。

2．EDAX公司能谱仪（EDS）与电子背散射衍射（EBSD）一体化系统。

3．喷金一体化。

三、本仪器主要应用范围

样品的形貌分析；微区成份和含量分析；微区取向、微观织构分析，晶体结构分析，物相分析等。

四、欢迎有科研需求的老师前来咨询、使用。

仪器专管员：肖立华 博士
联系方式： 18275081939 QQ号：799645857

国有资产管理处 分析测试中心

2017年9月25日